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题名:
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MEMS强链及其应用 MEMS qiang lian ji qi ying yong / 陈文元，张卫平著 , |
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ISBN:
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978-7-03-018329-3 价格： CNY25.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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132页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2007 |
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内容提要:
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MEMS强链也称MEMS密码锁，是一种用于高风险系统的高可靠性安全保障的微机电装置。本书对UQS密码生成、MEMS强链总体设计、轴向磁场微步进电机、三维非硅准LIGA为主的MEMS强链加工工艺等进行了详尽的阐述。 |
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主题词:
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微电机 自动装置 |
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主题词:
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微电机 |
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主题词:
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自动装置 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 4 |
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主要责任者:
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陈文元 chen wen yuan 著 |
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主要责任者:
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张卫平 zhang wei ping 著 |
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索书号:
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TM38/7401 |