题名:
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MEMS系统级建模 MEMSxi tong ji jian mo / (德)塔玛拉·贝克唐德(Tamara Bechtold),(德)加布里尔·施拉格(Gabriele S , |
ISBN:
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9787564172633 价格: CNY89.00 |
语种:
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chi |
载体形态:
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11,12,442页 图 24cm |
出版发行:
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出版地: 出版社: 出版日期: 2020.02 |
内容提要:
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本书论述了MEMS系统级建模技术,内容共分五部分。第一部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统? |
主题词:
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微机电系统 |
中图分类法:
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TH-39 版次: 5 |
索书号:
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7 |