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题名:
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激光等离子体极紫外光刻光源 ji guang deng li zi ti ji zi wai guang ke guang yuan / 窦银萍，宋晓伟，陶海岩著 , |
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ISBN:
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9787118117936 价格： CNY79.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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112页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 出版日期： 2018.12 |
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内容提要:
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本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次，介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。重点介绍了激光参数及靶条件对光源光谱输出特性的影响，包括钆(Gd)靶激光等离子体的极紫外1 |
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主题词:
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激光 |
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中图分类法:
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TN305.7 版次： 5 |
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索书号:
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7 |