题名:
MEMS系统级建模   MEMSxi tong ji jian mo / (德)塔玛拉·贝克唐德(Tamara Bechtold),(德)加布里尔·施拉格(Gabriele S ,
ISBN:
9787564172633 价格: CNY89.00
语种:
chi
载体形态:
11,12,442页 图 24cm
出版发行:
出版地: 出版社: 出版日期: 2020.02
内容提要:
本书论述了MEMS系统级建模技术,内容共分五部分。第一部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统? 
主题词:
微机电系统  
中图分类法:
TH-39 版次: 5
索书号:
7