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题名:
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集束型晶圆制造装备调度及其优化算法 / 李林瑛，卢睿著 , |
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ISBN:
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9787121312274 价格： CNY69 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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328页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 出版日期： 2017 |
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主题词:
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半导体工艺设备 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 4 |
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主要责任者:
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李林瑛，卢睿 著 |
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索书号:
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3 |