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题名:
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激光等离子体极紫外光刻光源 / 窦银萍，宋晓伟，陶海岩著 , |
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ISBN:
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9787118117936 价格： CNY79 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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112页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 出版日期： 2018 |
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主题词:
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激光 |
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中图分类法:
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TN305.7 版次： 4 |
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主要责任者:
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窦银萍，宋晓伟，陶海岩 著 |
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索书号:
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3 |