|
题名:
|
有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法 you tie xin zhi xian dian ji tui li bo dong de fen xi yu bu chang fang fa / 刘杨，付雪微著 , |
|
ISBN:
|
9787566117137 价格： CNY35.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
73页 图 26cm |
|
出版发行:
|
出版地： 出版社： 出版日期： 2019.10 |
|
内容提要:
|
本书以尖端精密设备光刻机中的双工件台系统为研究背景，针对有铁芯直线电机存在的推力波动问题，进行了深入的理论分析和扰动补偿方案研究。 |
|
主题词:
|
直线电机 |
|
中图分类法:
|
TM359.4 版次： 5 |
|
附注:
|
黑龙江省优秀学术著作出版资助项目 |
|
索书号:
|
8 |