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题名:
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微机电系统 (MEMS) 原理、设计和分析 / 田文超著 , |
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ISBN:
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978-7-5606-2223-1 价格： CNY30.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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250页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 西安 出版社： 西安电子科技大学出版社 出版日期： 2009 |
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内容提要:
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本书系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识, 内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 4 |
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主要责任者:
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田文超, 著 |
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索书号:
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TM38/6004 |
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索书号:
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TM38/6004 |