|
题名:
|
MEMS可靠性 / (日本) O. Tabata, T. Tsuchiya著 , 宋竞 ... [等] 译 |
|
ISBN:
|
978-7-5641-1575-3 价格： CNY50.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
264页 图 24cm |
|
出版发行:
|
出版地： 南京 出版社： 东南大学出版社 出版日期： 2009 |
|
内容提要:
|
本书是国际上MEMS可靠性领域第一本专著, 共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法, 包括MEMS材料的可靠性, 微纳压痕仪, 鼓胀测试, 弯曲测试, 单轴张应力测试, 片上测试 ; 第二部分论述MEMS器件的可靠性, 包括压力传感器可靠性, 惯性传感器可靠性, RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。 |
|
主题词:
|
微电机 可靠性 |
|
中图分类法:
|
TM38 版次： 4 |
|
主要责任者:
|
田畑修Tabata, 著 |
|
主要责任者:
|
土屋智由Tsuchiya, 著 |
|
次要责任者:
|
宋竞 译 |
|
索书号:
|
TM38/6092 |