题名:
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半导体材料物理与技术 / 杨建荣著 , |
ISBN:
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9787030627322 价格: CNY78.00 |
语种:
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chi |
载体形态:
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294页 图 24cm |
出版发行:
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出版地: 出版社: 出版日期: 2020.01 |
内容提要:
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本书将这一分支学科的专业知识划分为半导体材料概述、物理性能、晶体生长热处理、性能测量和工艺基础技术6个组成部分,通过把分散在众多教科书、专著和文献资料中的专业知识系统地纳入这一学科体系框架,使之成为一本全面介绍半导体材料物理知识、工艺基本原理和实用化技术? |
主题词:
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半导体材料 |
中图分类法:
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TN304 版次: |
附注:
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中国科学院大学研究生教学辅导书系列 中国科学院大学教材出版中心资助 |
索书号:
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7 |