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题名:
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新型微纳传感器技术 xin xing wei na chuan gan qi ji shu / 赵玉龙，蒋庄德著 , |
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ISBN:
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978-7-122-42346-7 价格： CNY128.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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244页 图，照片 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2022 |
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内容提要:
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本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构，阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用，主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。 |
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主题词:
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微电机 传感器 |
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中图分类法:
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TP212 版次： 5 |
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主要责任者:
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赵玉龙 zhao yu long 著 |
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主要责任者:
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蒋庄德 jiang zhuang de 著 |
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附注:
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国家科学技术学术著作出版基金资助出版 西安交通大学研究生“十四五”规划精品系列教材 |