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题名:
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传感器与MEMS设计制造技术 [ 专著] chuan gan qi yu mems she ji zhi zao ji shu / 朱真等编著 , |
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ISBN:
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978-7-118-13400-1 价格： CNY268.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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662页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2024 |
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内容提要:
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本书系统介绍了传感器与MEMS微系统的整体设计、制造基础,涵盖硅基及非硅基材料的加工制造工艺。详细阐述了从MEMS设计到封装集成的全生命周期技术,包括光刻、介质层加工、金属层加工等关键技术,并深入分析了每一步骤的技术原理及其优缺点,为理解这些微纳加工技术提供了全面的指导和参考。 |
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主题词:
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微机电系统 应用 |
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中图分类法:
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TP212 版次： 5 |
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主要责任者:
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朱真 zhu zhen 编著 |