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题名:
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纳米压印技术 / 孙洪文著 , |
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ISBN:
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978-7-121-12199-9 价格: CNY36.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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190页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地: 北京 出版社: 电子工业出版社 出版日期: 2011 |
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内容提要:
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本书详细介绍了纳米压印技术的工艺、原理、仿真、应用及发展前景展望。纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法, 它可以大批量重复性地在大面积衬底上制备纳米图案结构, 而且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。 |
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主题词:
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纳米材料 应用 |
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中图分类法:
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TN4 版次: 4 |
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主要责任者:
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孙洪文 著 |
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索书号:
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TN4/1930 |