检索条件： 半导体工艺 ( 主题词 )
责任者 佐藤淳一
出版信息 机械工业出版社 ,2022
ISBN 978-7-111-70234-4
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图解入门——半导体制造工艺基础精讲
佐藤淳一.机械工业出版社,2022.
责任者 张厥宗
出版信息 化学工业出版社 ,2009
ISBN 978-7-122-05690-0
硅片加工技术
张厥宗.化学工业出版社,2009.
责任者 廉亚光
出版信息 机械工业出版社 ,2023
ISBN 978-7-111-73551-9
半导体芯片和制造：理论和工艺实用指南
廉亚光.机械工业出版社,2023.
责任者 赞特
出版信息 电子工业出版社 ,2010
ISBN 978-7-121-11372-7
芯片制造：半导体工艺制程实用教程：a practical guide to semiconductor processing
赞特.电子工业出版社,2010.
责任者 李林瑛，卢睿著
出版信息 ,2017.04
ISBN 9787121312274
集束型晶圆制造装备调度及其优化算法
李林瑛，卢睿著.,2017.04.
责任者 李林瑛，卢睿
出版信息 ,2017
李林瑛，卢睿.,2017.
责任者 李林瑛,卢睿
出版信息 电子工业出版社 ,2017
ISBN 978-7-121-31227-4
李林瑛,卢睿.电子工业出版社,2017.
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